拆迁补偿费用应包括房屋、建筑物补偿、设备重置补偿和停产停业损失补偿。房屋补偿按建筑面积计算，无证明可实际丈量确定。设备搬迁费用应按规定计算，包括拆卸、运输、安装、调试等费用。停产停业损失应由评估机构评估确定。可搬迁设备应继续利用，搬迁安装费用应补偿。拆迁人可通过速迁奖励加快拆迁进度，奖励费用由双方协商确定。
法律分析
1、由于厂房是在划拨土地上，所以拆迁时，是没有土地补偿金的，赔偿的范围有以下几项：房屋、建筑物补偿应当以相关房产证明登记的建筑面积为计算标准。因为历史原因无法办理房产证明和土地证明的，可经实际丈量确定。
2、设备重置补偿，设备搬迁安装费用应当按国家和当地规定的货物运输价格、设备安装价格计算。机器设备分为两类：一类是可搬迁设备;二是不可搬迁设备;可搬迁设备因拆迁而引起的损失又可分为实物损失费和功能损失费。实物损失费包括拆卸费用、运输费用、安装费用、调试费用等。
3、拆迁费用补偿，因拆迁非住宅房屋造成停产停业的，拆迁人可给予适当补偿。对于停产停业损失应当由评估机构进行评估确定，针对企业的经营性质、经营业务、经营状况、赢利情况进行个案评估，才能确保公平的实现，当然具体数额可由拆迁当事人协商确定。
4、设备搬迁安装费，对于可搬迁的设备，应当本着继续利用的原则，进行异地搬迁安装，继承投入使用。据此产生的设备搬迁和安装费用是拆迁引起的必然损失，拆迁人应当予以补偿。
5、在拆迁的过程中，拆迁人为了加快拆迁进度，拆迁人往往会采取速迁奖励的办法鼓励被拆迁人、承租人尽早签订拆迁安置补偿协议，搬出拆迁范围。奖励费用金额的大小，由拆迁人根据拆迁实际确定，也可由拆迁人、被拆迁人、实际承租人之间协商确定。
结语
在拆迁过程中，由于厂房位于划拨土地上，因此没有土地补偿金。然而，赔偿范围包括房屋和建筑物补偿，以相关房产证明登记的建筑面积为计算标准。设备重置补偿涉及设备搬迁和安装费用，按照国家和当地规定的运输和安装价格计算。拆迁费用补偿针对非住宅房屋造成的停产停业损失，需要由评估机构进行评估确定。设备搬迁安装费用应当由拆迁人予以补偿，以确保设备的继续利用。此外，在拆迁过程中，拆迁人可能会采取速迁奖励的方式，鼓励被拆迁人和承租人尽早签订拆迁安置补偿协议。奖励费用的确定可以由相关方协商或拆迁人根据实际情况确定。
法律依据
《国有土地上房屋征收与补偿条例》第为了保障、促进国民经济和社会发展等公共利益的需要，有下列情形之一，确需要征收房屋的，由市、县级作出房屋征收决定：
（一）国防和外交的需要；
（二）由组织实施的能源、交通、水利等基础设施建设的需要；
（三）由组织实施的科技、教育、文化、卫生、体育、环境和资源保护、防灾减灾、文物保护、社会福利、市政公用等公共事业的需要；
（四）由组织实施的保障性安居工程建设的需要；
（五）由依照城乡规划法有关规定组织实施的对危房集中、基础设施落后等地段进行旧城区改建的需要；
（六）法律、行规规定的其他公共利益的需要。